Спектральные конфокальные датчики перемещения: модель ZTS0009-CSC

Спектральный конфокальный датчик перемещения - головка датчика ZTS0009-CSC

• Рабочее расстояние *1) 9 мм
• Диапазон измерения ±1,2 мм
• Угол измерения *2) ±60°
• Размер световой метки *3) φ5,5 мкм
• Повторяемость *4) 45 нм
• Погрешность линейности *5) < ±0,48 мкм
• Мин. измеряемая толщина прозрачного объекта 5% от полной шкалы

*1) Рассчитано от середины диапазона измерения;

*2) Тестирование на наклон с использованием стандартного плоского зеркала при частоте дискретизации 1 кГц;

*3) Измерение острых краев стекла проверено с помощью подвижной платформы позиционирования с субмикронной точностью и лазерного интерферометра в качестве эталона измерения смещения;

*4) Измерение стандартного зеркала с серебряным покрытием, 1 кГц без усреднения, среднеквадратичное отклонение 10 000 непрерывных пакетов данных;

*5) Проверка калибровки с использованием высокоточного лазерного интерферометра с нанометровой точностью;

Электротехнические характеристики

Параметры окружающей среды

Механические параметры