Лазерные датчики перемещения: модель ZTS0008-EN-CIU-CSP

Высокоточный лазерный триангуляционный датчик перемещения  ZTS0008-EN-CIU-CSP

• Рабочее расстояние *1) 8 мм
• Диапазон измерения ±0.8 мм
• Размер световой метки φ20 мкм
• Повторяемость *2) 0,03 мкм
• Повторяемость *3) 0,01 мкм
• Погрешность линейности *4) < ±0,5 мкм
• Макс. частота дискретизации 160 кГц

*1) Расчет на основе среднего положения диапазона измерений;

*2) Измерение стандартного белого керамического объекта, 50 кГц без усреднения, с вычислением среднеквадратичного отклонения (1σ) 65536 пакетов данных измерения; U-образное зондирование, 8 кГц без усреднения, с вычислением среднеквадратичного отклонения (1σ) 65536 пакетов данных измерения;

*3) Измерение стандартного белого керамического объекта, 50 кГц с 1024 усреднениями, с вычислением среднеквадратичного отклонения (1σ) 65536 пакетов данных измерения; U-образное зондирование, 8 кГц с 1024 усреднениями, с вычислением среднеквадратичного отклонения (1σ) 65536 пакетов данных измерений;

*4) Калибровка и проверка с использованием высокоточного лазерного интерферометра с нанометровой точностью.

Электротехнические параметры

Параметры окружающей среды

Механические параметры