ZTS005-CSIT: новый датчик измерения толщины пленок

• Рабочее расстояние *1) -50±2 мм
• Угол измерения *2) - ±3°
• Размер световой метки *3) - Точка фокусировки, Ø100 мкм
• Повторяемость *4) - 1 нм
• Погрешность линейности *5) - < ±20 нм

*1) Положение фокусировки, при котором датчик имеет самый сильный сигнал отраженного света;

*2) Стандартное плоское зеркало для проверки наклона с частотой дискретизации 1 кГц;

*3) Измерение острых краев стекла с использованием подвижной платформы с субмикронной точностью позиционирования и лазерного интерферометра в качестве эталона смещения;

*4) Измерение объектов стандартной толщины, среднеквадратичное отклонение 10 000 пакетов данных, собранных непрерывно при частоте 1 кГц без усреднения;

*5) Теоретическое значение;

Параметры окружающей среды

• Степень защиты  - IP 40

Механические параметры

• Материал корпуса - алюминий
• Габариты φ30 x 58 мм
• Вес - 90 гр.

Дополнительные примечания

• Использовать вместе с контроллером ZTS-CSIT-S100

• Каталог "Датчики для измерения толщины пленок СЕНСОТЕК" (pdf, скачать)

Заказ продукции, подбор аналогов

• по тел.: +7(495)1815667
• по E-mail: info@sensotek.ru